国家知识产权局信息显示,盖泽华矽半导体科技(苏州)有限公司申请一项名为“基于轨迹自适应的晶圆外延膜厚测量方法与系统”的专利,公开号CN121430464A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明提出基于轨迹自适应的晶圆外延膜厚测量方法与系统,属于测量测试与半导体制造技术领域。测量方法包括晶圆上料与初步移送步骤、晶圆定位与校正补偿步骤、测量路径规划步骤、膜厚数据采集处理步骤、数据比对与趋势报告生成步骤以及异常报警触发步骤。测量系统包括上料与移送单元、定位与补偿单元、测量路径规划单元、膜厚数据采集处理单元、数据比对与趋势报告生成单元、异常报警触发单元,所述定位与补偿单元包括校正机构与补偿机构。本发明通过轨迹自适应规划与边缘增强算法,提升了晶圆外延膜厚测量的精度与效率;结合云端协同分析,实现了异常实时报警与趋势预测,有助于提高半导体制造的良率与智能化水平。
天眼查资料显示,盖泽华矽半导体科技(苏州)有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,盖泽华矽半导体科技(苏州)有限公司参与招投标项目7次,专利信息17条,此外企业还拥有行政许可5个。
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来源:市场资讯