美图半导体取得兆声清洗键合设备用对准结构专利，避免晶圆在清洗后的污染
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2026-02-14 09:42:20
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国家知识产权局信息显示，苏州美图半导体技术有限公司取得一项名为“兆声清洗键合设备用对准结构”的专利，授权公告号CN223912844U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型的目的是提供一种兆声清洗键合设备用对准结构，利用高精度对准结构，实现两片晶圆在兆声清洗步骤后，满足原位直接键合的定位精度要求并实现原位键合，避免晶圆在清洗后的污染，也极大减少设备的占地空间，提高空间利用率，且减少空间布局成本。对准结构包括可倾斜活动设置的工作台面、位于工作台面上的载物台，在载物台上设置若干定位块，在载物台圆周设置摆动垫片；工作台面背离载物台一侧设置有转动模块、抖动模块、倾斜模块和垫片联动模块，本实用新型利用这些模块实现多个动态动作、从而达到多次找准、高精度对准的目的。
天眼查资料显示，苏州美图半导体技术有限公司，成立于2012年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本121.67万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州美图半导体技术有限公司参与招投标项目56次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息65条，此外企业还拥有行政许可2个。
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来源：市场资讯
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