维安半导体申请场截止层制备方法专利，避免造成产线污染
创始人
2026-02-24 14:16:38
0次
国家知识产权局信息显示，上海维安半导体有限公司申请一项名为“场截止层制备方法及工艺监控方法、半导体器件制备方法”的专利，公开号CN121568426A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种场截止层制备方法及工艺监控方法、半导体器件制备方法，属于半导体功率器件技术领域，方法包括：提供晶圆预制件，包括位于外延层上表面的栅氧化层、位于栅氧化层上表面的多晶硅层、位于外延层中的体区以及位于体区中的第一注入区；对晶圆预制件的正面涂胶，将带正面保护胶的晶圆预制件翻面，对晶圆预制件的背面进行减薄；采用正面注入机台对晶圆预制件的背面进行离子注入，形成场截止层；再次翻面，并去除正面保护胶。有益效果：在前段工艺利用正面注入机台形成场截止层，避免造成产线污染，更有利于实现场截止层的制程；解决了晶圆厂背面注入机台受限问题，无需额外购置机台，提高了机台利用率，降低了成本。
天眼查资料显示，上海维安半导体有限公司，成立于2008年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海维安半导体有限公司参与招投标项目7次，专利信息280条，此外企业还拥有行政许可11个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
西部超导获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西部超导（688122）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
苏州云途半导体有限公司成立，注...
天眼查显示，近日，苏州云途半导体有限公司成立，法定代表人为耿晓祥，注册资本200万人民币，由江苏云途...
算力芯片散热需求爆发，单晶金刚...
7月23日，培育钻石概念震荡反弹， 惠丰钻石（920725.BJ）涨超10%， 黄河旋风（60017...
英特尔寻求俄亥俄州芯片厂运营合...
7月23日，据报道，英特尔正在为其位于美国俄亥俄州的半导体晶圆厂寻找运营合作伙伴，而非将其直接整体出...
世运电路（603920）7月2...
证券之星消息，截至2026年7月22日收盘，世运电路(603920)报收于34.46元，下跌3.93...
清溢光电（688138）7月2...
证券之星消息，截至2026年7月22日收盘，清溢光电(688138)报收于32.08元，下跌5.34...
攻击鲨预告RS6 ULTRA鼠...
IT之家 7 月 23 日消息，ATTACK SHARK（攻击鲨）美国当地时间 21 日宣布将推出 ...
潍坊利驰电子科技有限公司成立 ...
天眼查App显示，近日，潍坊利驰电子科技有限公司成立，法定代表人为王淑娟，注册资本1万人民币，经营范...
中国一汽申请车载备用电源装置专...
国家知识产权局信息显示，中国第一汽车股份有限公司申请一项名为“车载备用电源装置、车辆及车辆的控制方法...
中航光电获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中航光电（002179）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...