芯粤能半导体申请蒸镀机专利，可大幅减少每次蒸镀时抽真空的时间
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2025-07-05 17:09:32
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金融界2025年7月5日消息，国家知识产权局信息显示，广东芯粤能半导体有限公司申请一项名为“蒸镀机”的专利，公开号CN120249892A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供了一种蒸镀机，包括真空腔室、真空组件和压力调节组件，真空腔室包括：用于放置基片的产品腔室、用于放置镀源的源腔室以及隔离阀，隔离阀置于产品腔室和源腔室之间以用于控制产品腔室和源腔室连通或隔离，真空组件用于分别对产品腔室和源腔室抽真空，压力调节组件用于分别对产品腔室和源腔室进行压力调节，本发明可大幅减少每次蒸镀时抽真空的时间，减少镀源冷却时间，在源腔室出现异常时，可以单独对源腔室进行处理，从而避免操作人员误触碰产品或产品镀层金属因接触大气而发生氧化。
天眼查资料显示，广东芯粤能半导体有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本45793.1035万人民币。通过天眼查大数据分析，广东芯粤能半导体有限公司参与招投标项目42次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息38条，此外企业还拥有行政许可99个。
来源：金融界
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