富乐德长江半导体申请晶圆再生项目中Pattern膜的无损伤化学机械剥离方法及环保溶剂体系专利，避免硅基底损伤_电池技术

富乐德长江半导体申请晶圆再生项目中Pattern膜的无损伤化学机械剥离方法及环保溶剂体系专利，避免硅基底损伤

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2026-02-28 18:12:11

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国家知识产权局信息显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请一项名为“晶圆再生项目中Pattern膜的无损伤化学机械剥离方法及环保溶剂体系”的专利，公开号CN121586455A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体制造与材料回收技术领域，公开了一种晶圆再生项目中Pattern膜的无损伤化学机械剥离方法及环保溶剂体系，旨在解决现有技术在高效去除氮化类膜、阻抗类膜和金属类膜时存在的不足。该方法包括：将待处理晶圆依次浸入阻抗类膜去除药液、氮化类膜去除药液和金属类膜去除药液中进行化学处理，随后进行机械研磨处理，并在每个步骤后执行超纯水冲洗与甩干操作。该系统包括阻抗类膜去除单元、氮化类膜去除单元、金属类膜去除单元、机械研磨单元和清洗干燥单元。本申请通过采用上述技术方案，能够实现对复合Pattern膜结构的高效、彻底剥离，提高晶圆再生良率，减少设备故障率，避免硅基底损伤，并符合绿色环保标准。

天眼查资料显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，成立于2019年，位于铜陵市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本123009.7159万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息172条，此外企业还拥有行政许可35个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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