阿米精控科技申请半导体生产制造用调平装置专利，精密的测量水平
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2026-03-04 13:13:22
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国家知识产权局信息显示，阿米精控科技（山东）有限公司申请一项名为“一种半导体生产制造用调平装置”的专利，公开号CN121596681A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体生产制造用调平装置，涉及半导体加工技术领域，具体包括上壳体和下壳体，所述上壳体的下端可拆卸连接有下壳体，所述下壳体上端面固定安装有驱动装置、用于微距测量的感应装置和用于传递力量的柔性机构，所述下壳体的下方设置有掩膜版安装座。该半导体生产制造用调平装置，通过上壳体、下壳体、驱动装置、感应装置和柔性机构之间的配合，利用驱动装置、感应装置和柔性机构分别为音圈电机、电容感应器和柔性铰链的设置，使得调平装置不仅能拥有简化调平流程、简化系统结构、反应速度快、成本低廉的效果，同时又能拥有精密的测量水平的优点，从而适用于纳米压印与接近接触式光刻的领域。
天眼查资料显示，阿米精控科技（山东）有限公司，成立于2021年，位于日照市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3028.8429万人民币。通过天眼查大数据分析，阿米精控科技（山东）有限公司参与招投标项目10次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息36条，此外企业还拥有行政许可7个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
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