北方华创申请半导体工艺设备干燥装置及晶圆干燥方法专利，能够提高干燥效率和效果
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2026-03-12 23:54:54
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其干燥装置及晶圆干燥方法”的专利，公开号CN121631757A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体工艺设备及其干燥装置及晶圆干燥方法。半导体工艺设备的干燥装置包括干燥槽和喷淋组件；其中，干燥槽设置有进液口和排液口，用于在干燥处理的过程中通过进液口向干燥槽内注入预设液位的液体，以使晶圆能够浸泡在干燥槽的液体中；以及，通过排液口排出干燥槽内的液体；喷淋组件具有倾斜向下的喷淋口，喷淋口用于喷淋气体；喷淋组件能够升降，以在通过排液口排出槽内的液体的过程中，使喷淋组件自初始位置随液面下降而下降，以使喷淋口保持在液面上方的预定距离。在干燥处理的过程中，气体的喷淋方向与晶圆表面液膜在重力作用下的流动方向均相同，能够提高干燥效率和效果。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1392次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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