华工高理申请MEMS微型加热器芯片及气体传感器专利，提高检测精度_电池技术

华工高理申请MEMS微型加热器芯片及气体传感器专利，提高检测精度

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2026-03-14 23:25:11

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国家知识产权局信息显示，孝感华工高理电子有限公司申请一项名为“一种MEMS微型加热器芯片以及气体传感器”的专利，公开号CN121656335A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明涉及微机电技术领域，具体涉及一种MEMS微型加热器芯片以及气体传感器，包括衬底以及依次层叠设置于衬底上的支撑层、加热电极层、绝缘层和检测电极层，衬底上设置有间隔布置的多个空腔，加热电极层包括与多个空腔一一对应的多个加热单元，检测电极层包括与多个加热单元一一对应的多个检测单元，且各加热单元悬设于对应的空腔的上方，各检测单元设置于对应的加热单元的上方。本发明中每个检测单元与对应的加热单元以及衬底、支撑层、绝缘层上对应的部分构成一颗功能完整的芯片结构，通过将多颗芯片结构集成在一起，不仅有利于器件的小型化，大大降低了晶圆成本，而且大大降低了封装成本，还可以对同一气体成分同时进行多组测试或者对不同的气体成分同时进行测试，能够提高检测精度和扩展检测范围。

天眼查资料显示，孝感华工高理电子有限公司，成立于2008年，位于孝感市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本100000万人民币。通过天眼查大数据分析，孝感华工高理电子有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目117次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息764条，此外企业还拥有行政许可30个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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