苏州纳印光电取得气体分配系统及镀膜设备专利，提高镀膜均匀性
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2026-03-26 16:17:39
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国家知识产权局信息显示，苏州纳印光电科技有限公司取得一项名为“一种气体分配系统及镀膜设备”的专利，授权公告号CN224031094U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开一种气体分配系统及镀膜设备。其中气体分配系统包括喷头和加工气体供给气路，加工气体供给气路包括第一主管路、第一三通阀、真空泵和加工气体供给支路，第一三通阀包括第一接口、第二接口和第三接口，第一接口连通于第一主管路的一端，第二接口连通于喷头，第三接口连通于真空泵；加工气体供给支路的第一管路连通于第一主管路的侧壁，第一管路上依次设置有第一氮气供给装置、第一阀体和第二阀体；第二管路的上游连通于第一阀体和第二阀体之间，第二管路的下游连通于第一主管路的侧壁，第二管路上依次设置有第三阀体、加工气体容器和第四阀体。
天眼查资料显示，苏州纳印光电科技有限公司，成立于2024年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州纳印光电科技有限公司参与招投标项目4次，专利信息3条。
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