微导纳米获得实用新型专利授权：“一种喷淋组件及半导体设备”
创始人
2026-05-12 13:11:12
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种喷淋组件及半导体设备”，专利申请号为CN202520946324.8，授权日为2026年5月12日。
专利摘要：本申请公开了一种喷淋组件及半导体设备，涉及半导体技术领域，包括顶板、喷淋板、进气件和预扩散件；进气件位于顶板的上方；预扩散件位于顶板和喷淋板之间，预扩散件限制出多个扩散孔，且预扩散件与进气件之间连接有多个进气通道。本申请提供的喷淋组件，通过气体由进气件经进气通道流入预扩散件进行预扩散，可减小气体流经管路的空间大小，提高流速。同时，通过预扩散件的扩散孔进行预扩散，可在提高气体由喷淋板流出均匀性的同时，兼顾气体的流速，以满足工艺需求。
今年以来微导纳米新获得专利授权33个，较去年同期增加了10%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。
通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息140条，专利信息644条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。
数据来源：天眼查APP
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