西安交通大学申请EFPI声传感器制备方法专利，获得基于DLC薄膜的EFPI声传感器
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2026-05-16 17:42:44
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国家知识产权局信息显示，西安交通大学;国网江苏省电力有限公司电力科学研究院;国网江苏省电力有限公司申请一项名为“EFPI声传感器制备方法、装置、平台及声传感器”的专利，公开号CN122042028A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，一种基于DLC薄膜的EFPI声传感器制备方法、装置、平台及声传感器，方法中，通过沉积参数控制DLC薄膜沉积装置以调节DLC薄膜的类型和厚度，然后在硅基底上沉积DLC薄膜得到DLC薄膜样品；将DLC薄膜样品浸入装满去离子水的培养皿中，去离子水渗入DLC薄膜样品的薄膜和硅基底的界面中使得薄膜和硅基底脱附；将玻璃管浸入去离子水，调整角度使得端面与薄膜平行，然后上提托起薄膜，在室温下静置待水分蒸发，获得附着在玻璃套管端面的DLC薄膜；调整位移台的各个轴，通过EFPI反射谱线的自由光谱范围计算干涉腔长；将光纤尾纤和玻璃套管粘接，获得基于DLC薄膜的EFPI声传感器。
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来源：市场资讯
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