北方华创申请设备控制方法专利，提高半导体工艺设备安全控制的可靠性
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2026-08-13 00:09:16
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“设备控制方法、安全控制器、半导体工艺设备及存储介质”的专利，公开号CN122546866A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本申请提供了一种设备控制方法、安全控制器、半导体工艺设备及存储介质，该方法通过响应于接收到的操作指令，获取触发信号的当前值，触发信号用于表征是否允许输出操作指令对应的操作控制信号给执行机构，触发信号的当前值基于指定信号，按照复位优先的原则确定，指定信号包括报警信号和复位信号，复位信号用于复位触发信号，基于目标数据确定满足输出操作控制信号给执行机构的条件时，输出操作控制信号给执行机构，目标数据包括触发信号的当前值，从而能够有效避免在设备异常状态下误输出操作控制信号给执行机构而造成执行机构无效运行，进而提高了半导体工艺设备安全控制的可靠性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1478次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5896条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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