上海芯丑半导体申请晶圆UV擦除设备控制方法及系统专利，实现UV光强度和温度的精准调节
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2025-07-10 09:09:29
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金融界2025年7月10日消息，国家知识产权局信息显示，上海芯丑半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆UV擦除设备的控制方法及系统”的专利，公开号CN120276283A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆数据擦除技术领域，公开了一种晶圆UV擦除设备的控制方法及系统，控制方法包括：获取对应待擦除晶圆的配置信息；向UV机发送环境配置指令，所述环境配置指令用于指示UV机执行配置操作；当判定接收的UV光强度信息和温度信息与配置信息中的对应信息一致时，向计时装置发送预设时长指令；在接收到计时装置发出的计时完成信号时，向UV机发送停机指令。通过自动获取并配置晶圆UV擦除所需环境参数，实现UV光强度和温度的精准调节，确保擦除环境稳定；此外，还能够依据设定时间自动控制UV机启停，提升擦除作业的自动化程度与效率。
天眼查资料显示，上海芯丑半导体设备有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯丑半导体设备有限公司专利信息39条，此外企业还拥有行政许可1个。
来源：金融界
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