英飞凌申请机械应力传感器专利，提供与施加到集成电路的机械应力成比例的输出信号
创始人
2026-08-31 14:48:36
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国家知识产权局信息显示，英飞凌科技股份有限公司申请一项名为“机械应力传感器”的专利，公开号CN122662636A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本公开涉及机械应力传感器。集成电路包括半导体衬底，该半导体衬底包括多个电子部件。多个金属互连层堆叠在半导体衬底上，其中所述多个金属互连层将电子部件电连接在一起。集成电路还包括适于提供与施加到集成电路的机械应力成比例的输出信号的感测布置，其中感测布置被形成在多个金属互连层中。感测布置包括至少部分地由多个金属互连层中的金属互连层形成的第一感测设备。第一感测设备被布置为响应于施加到集成电路的机械应力的改变而产生第一感测设备的电子性质的改变。一种制造集成电路的方法，包括：提供半导体衬底；在衬底上形成多个金属互连层，多个金属互连层包括适于提供与施加到集成电路的机械应力的变化成比例的输出信号的感测布置。
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