富芯半导体申请静电检测装置专利，能够准确检测晶圆等半导体器件表面携带的静电电荷参数
创始人
2026-09-05 19:25:25
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国家知识产权局信息显示，杭州富芯半导体有限公司申请一项名为“静电检测装置”的专利，公开号CN122690233A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本申请提供了一种静电检测装置，装置包括腔室及检测装置；在所述腔室壁上设有可开闭的检测对象传送门，所述腔室内还设有绝缘支撑平台；所述检测装置包括检测探头及检测电路；所述检测探头设置于所述绝缘支撑平台表面，在检测对象置于所述绝缘支撑平台时与所述检测对象接触；所述检测电路与所述检测探头电连接，用于检测所述检测对象携带的静电电荷参数。本申请提供的装置能够准确检测晶圆等半导体器件表面携带的静电电荷参数，以及时掌握器件的静电积累情况，有效规避静电放电带来的生产风险。
天眼查资料显示，杭州富芯半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目37次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息383条，此外企业还拥有行政许可28个。
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来源：市场资讯
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