国家知识产权局信息显示,南亚科技股份有限公司申请一项名为“半导体电容器及其形成方法”的专利,公开号CN121310846A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体电容器。此半导体电容器包含有第一导电层、第二导电层以及介电层。介电层位于第一导电层以及第二导电层之间,且第一导电层及/或第二导电层通过等离子体处理,以去除不纯物,并将不纯物置换为氮原子,以改善漏电流以及电阻率。此外,一种半导体电容器的形成方法也在此揭露。
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