北京集成电路装备创新中心申请分体式静电卡盘专利，能够实现在线清洁功能_电池资讯

北京集成电路装备创新中心申请分体式静电卡盘专利，能够实现在线清洁功能

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2026-01-13 09:09:06

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国家知识产权局信息显示，北京集成电路装备创新中心有限公司申请一项名为“分体式静电卡盘及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121310954A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种分体式静电卡盘及半导体工艺设备。分体式静电卡盘包括：电极端子，设有连接吸附电极的引线；真空电极引入器，包括用于连接外部电源的导电电芯；射频导电组件，包括第一导电件、第二导电件和弹性保持件，第一导电件与导电电芯相接，第二导电件与引线通过电极端子相接，第一导电件与第二导电件间隙配合；弹性保持件用于使第一导电件与第二导电件保持接触。半导体工艺设备包括上述分体式静电卡盘。本发明提供的分体式静电卡盘及半导体工艺设备，能够实现在线清洁功能，无需开腔拆卸绝缘托盘进行清洗，过程简单快捷，节约了腔室维护的时间和成本，不影响产能。

天眼查资料显示，北京集成电路装备创新中心有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1113950万人民币。通过天眼查大数据分析，北京集成电路装备创新中心有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息92条，此外企业还拥有行政许可6个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业创新中心导电投资在线导体包括静电专利分体式电极半导体端子电件

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