北京集成电路装备创新中心申请分体式静电卡盘专利，能够实现在线清洁功能
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2026-01-13 09:09:06
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国家知识产权局信息显示，北京集成电路装备创新中心有限公司申请一项名为“分体式静电卡盘及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121310954A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种分体式静电卡盘及半导体工艺设备。分体式静电卡盘包括：电极端子，设有连接吸附电极的引线；真空电极引入器，包括用于连接外部电源的导电电芯；射频导电组件，包括第一导电件、第二导电件和弹性保持件，第一导电件与导电电芯相接，第二导电件与引线通过电极端子相接，第一导电件与第二导电件间隙配合；弹性保持件用于使第一导电件与第二导电件保持接触。半导体工艺设备包括上述分体式静电卡盘。本发明提供的分体式静电卡盘及半导体工艺设备，能够实现在线清洁功能，无需开腔拆卸绝缘托盘进行清洗，过程简单快捷，节约了腔室维护的时间和成本，不影响产能。
天眼查资料显示，北京集成电路装备创新中心有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1113950万人民币。通过天眼查大数据分析，北京集成电路装备创新中心有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息92条，此外企业还拥有行政许可6个。
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来源：市场资讯
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