华芯半导体申请应用于等离子刻蚀机的异常监控系统专利，帮助用户快速定位检修方向_电池资讯

华芯半导体申请应用于等离子刻蚀机的异常监控系统专利，帮助用户快速定位检修方向

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2026-01-26 12:42:34

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国家知识产权局信息显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请一项名为“应用于等离子刻蚀机的异常监控系统”的专利，公开号CN121394278A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请实施例公开一种应用于等离子刻蚀机的异常监控系统。异常监控系统包括恒流源设备、线圈、线圈检测电路及控制器，恒流源设备被配置为按照预设的刻蚀工艺参数，输出驱动电流；线圈被配置响应于驱动电流的输入，在刻蚀腔内产生磁场以引导等离子体朝向基片的方向运动以刻蚀基片；线圈检测电路被配置为检测线圈的线圈状态数据；控制器被配置为基于线圈状态数据生成设备检修信息。本申请实施例通过线圈状态数据监控线圈的工作状态，并通过设备检修信息将线圈的实际情况予以体现，以便用户快速获知线圈是否处于异常状态，帮助用户快速定位检修方向，避免用户将线圈从刻蚀腔拆卸和检修，却没有发现线圈出现异常所浪费的各种资源投入。

天眼查资料显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2650万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市华芯半导体装备技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息14条，专利信息21条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

用户检修等离子线圈定位监控华芯系统导体专利刻蚀机恒流源

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