其异半导体取得水平气流多片式化学气相沉积设备专利，提高外延层膜厚均匀性和反应气体利用率
创始人
2025-07-19 17:09:04
0次
金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，宁波其异半导体设备有限公司取得一项名为“一种水平气流多片式化学气相沉积设备”的专利，授权公告号CN223118587U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种水平气流多片式化学气相沉积设备，涉及半导体材料生产设备技术领域，包括反应腔、进气系统、排气系统和搬运系统；反应腔内设置有隔离筒，隔离筒内设置有基座，基座上设置有托盘，托盘用于承载晶圆，基座底部通过旋转轴与旋转电机相连接。本实用新型水平气流多片式化学气相沉积设备，气源通过进气接口分别与反应腔内的反应气流道和保护气流道相连通，通过保护气体流道，将热场发热体与晶圆完全隔离，避免直接接触形成沉积附着；基座内圆周均布多个晶圆，基座整体围绕中心轴进行旋转能满足基本的外延均匀性需求。增加晶圆的自转，行星式旋转有助于径向反应气在衬底表面的扩散，提高外延层膜厚均匀性和反应气体利用率。
天眼查资料显示，宁波其异半导体设备有限公司，成立于2023年，位于宁波市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波其异半导体设备有限公司专利信息1条。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
不到4600元！苹果推出最平价...
深耕高端笔记本电脑多年的苹果开始发力下沉市场，推出公司史上最便宜的新款Mac笔记本。 3月4日周二，...
苹果推史上最便宜MacBook...
苹果今日正式发布全新入门级笔记本 MacBook Neo，起售价 4599 元，成为目前最便宜的 M...
宏明电子：拟发行约3038.7...
每经AI快讯，宏明电子3月4日晚间披露招股意向书，本次公开发行股票约3038.73万股，占发行后公司...
铜陵安博申请PCB预防二钻孔偏...
国家知识产权局信息显示，铜陵安博电路板有限公司申请一项名为“一种PCB预防二钻孔偏位的控制方法”的专...
豪声电子（920701）披露2...
浙江豪声电子科技股份有限公司于2026年3月4日举办投资者关系活动，以现场参观结合特定对象调研的形式...
中山德华芯片技术申请柔性砷化镓...
国家知识产权局信息显示，中山德华芯片技术有限公司申请一项名为“一种柔性砷化镓太阳电池组件及其制备方法...
民爆光电：公司防爆灯有销往中东...
人民财讯3月4日电，民爆光电3月4日在互动平台表示，公司防爆灯有销往中东地区（不包括伊朗），但营收占...
上海交通大学申请自同步电压源双...
国家知识产权局信息显示，上海交通大学;上海中绿新能源科技有限公司申请一项名为“自同步电压源双馈风电机...
全球变局中的文化芯片：用AI守...
当美国经济总量占比从40%滑落至26%，全球南方国家经济总量却突破40%的临界点时（来源：傅小强，2...
昆山国显光电申请显示面板及其制...
国家知识产权局信息显示，昆山国显光电有限公司申请一项名为“显示面板及其制备方法和显示装置”的专利，公...