燕东微电子取得可改善氧化膜膜厚均匀性的反应装置和半导体热处理设备专利
创始人
2025-07-19 18:10:23
0次
金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，北京燕东微电子科技有限公司取得一项名为“反应装置和半导体热处理设备”的专利，授权公告号CN223123873U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体制造设备技术领域，具体提供一种反应装置和半导体热处理设备，旨在解决现有立式反应炉的腔室结构中温度场和气流场不均匀的问题。为此，本申请的反应装置，包括：底座；罩体，其具有相对的第一端和第二端，第一端设置于底座上，罩体与底座之间形成用于容纳待加工件的腔室；进气管道，其一端连通设置有进气口，进气管道与腔室连通且环绕设置于罩体的外侧，工艺气体能够由进气口经进气管道进入腔室；以及排气口，其与腔室连通，以将腔室内的工艺气体排出。该反应装置可以为工艺气体提供更大的混合空间，并减少工艺气体对温度均匀性的影响，从而改善氧化膜膜厚的均匀性。
天眼查资料显示，北京燕东微电子科技有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1200000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京燕东微电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1031次，专利信息154条，此外企业还拥有行政许可113个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
荣耀申请一种拍摄方法及电子设备...
金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，荣耀终端股份有限公司申请一项名为“一种拍摄方...
摩集客取得可自定义图案且提升稳...
金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市摩集客数码科技有限公司取得一项名为“一...
中达电子取得用于汽车电子生产线...
金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，中达电子（江苏）有限公司取得一项名为“夹取装...
每周股票复盘：环旭电子（601...
截至2025年7月18日收盘，环旭电子（601231）报收于14.42元，较上周的14.38元上涨0...
沈阳精密稳压器BZ - AE1...
精密稳压器在各领域的重要性 在工业、农业和通信领域，稳定的电源供应至关重要。工业生产中的大型机电设...
2025上海潮生活节启幕 虹口...
人民网上海7月18日电 今天，2025“上海之夏”国际消费季虹口系列活动暨第六届上海潮生活节启动仪式...
男子酷暑天为“接单维修”竟剪断...
大热天的还有人“火上浇油”：先剪断居民的空调外机电源线，再张贴广告“接单维修揽客”！近日，浦东警方破...
探索电路设计学校：从零基础到高...
嘿，大家好！今天咱们聊聊电路设计学校这个话题。你可能在想，电路设计听起来高大上，是不是得是理工天才才...
2025中国前端射频芯片上市公...
7月3日—5日，2025第九届集微半导体大会在上海张江科学会堂隆重举办。峰会期间，爱集微发布了22份...
国盛智科新注册《国盛智科卧式加...
证券之星消息，近日国盛智科（688558）新注册了《国盛智科卧式加工中心嵌入式控制软件V1.0》项目...