开幕光子与老鹰半导体申请半导体工艺监控方法专利，更快速准确获取关键信息_电池问答

开幕光子与老鹰半导体申请半导体工艺监控方法专利，更快速准确获取关键信息

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2025-07-22 10:39:00

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金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，杭州开幕光子技术有限公司、浙江老鹰半导体技术有限公司申请一项名为“一种半导体工艺监控方法”的专利，公开号CN120356840A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本申请提供了一种半导体工艺监控方法，通过在半导体样品表面溅射金属形成薄膜，并在目标区域沉积标记材料形成标记层，覆盖目标工艺的作用空间。随后进行封胶处理，并通过去除处理至标记层，露出包含目标工艺效果的目标面，最后利用扫描电镜进行扫描获取可用于评价目标工艺效果的图像。该方法通过标记层的设置，确保了目标区域在去除处理中的统一性，避免了边缘破坏；标记层明确了去除终点位置，使得能够准确露出反应目标工艺效果的断面，为工艺优化提供了可靠依据。相比传统扫描电镜断面观测技术，本方法能够更快速、准确地获取关键信息，有助于提升半导体产品的良品率和性能稳定性。

天眼查资料显示，杭州开幕光子技术有限公司，成立于2024年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州开幕光子技术有限公司专利信息29条。

浙江老鹰半导体技术有限公司，成立于2018年，位于绍兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4184.1225万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江老鹰半导体技术有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息76条，此外企业还拥有行政许可8个。

来源：金融界

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