ASM IP申请用于在衬底上外延沉积半导体膜的反应器的壳体组件专利，涉及用于在衬底上外延沉积半导体膜的反应器的壳体组件
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2025-08-01 16:40:13
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金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“反应器壳体组件”的专利，公开号CN120400983A，申请日期为2025年01月。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于在衬底上外延沉积半导体膜的反应器的壳体组件。壳体组件包括由不透明和透明的石英制成并通过至少两个凸缘连接的内壳体和外壳体。本发明还涉及由所述壳体组件包围的反应室，以及采用至少一个所述反应室的反应器。

来源：金融界

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