芯联越州取得加热装置以及半导体制造设备专利，提升产品良率
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2025-08-06 12:41:28
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金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，芯联越州集成电路制造（绍兴）有限公司取得一项名为“加热装置以及半导体制造设备”的专利，授权公告号CN223189256U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种加热装置以及半导体制造设备，加热装置包括：加热器以及载台；载台用于承载加热器；加热器具有加热面，加热面用于加热晶圆；加热器与载台相连接的位置设置有支撑件，支撑件与加热器的边沿相抵靠，用于向加热器的边沿提供支撑力；其中，支撑件与加热器的边沿的接触面和载台所在平面之间呈角度设置。如此配置，通过在加热器和载台的连接位置设置支撑件，并与加热器的边沿相抵靠，从而向加热器的边沿提供支撑力，以防止加热器的边沿下塌；同时，支撑件与加热器的边沿的接触面为斜面，使得支撑件能够提供由加热器的边沿向中心的作用力，保证了加热器在移动过程中不会出现边沿下塌的情况，进一步提升了产品良率。
天眼查资料显示，芯联越州集成电路制造（绍兴）有限公司，成立于2021年，位于绍兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本300000万人民币。通过天眼查大数据分析，芯联越州集成电路制造（绍兴）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目4次，专利信息119条，此外企业还拥有行政许可22个。
来源：金融界
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