华中科技大学和上海精测半导体申请X射线关键尺寸系统标定方法专利，满足复杂IC纳米结构三维形貌的快速、非破坏性、精确测量原位标定需求
创始人
2025-08-18 17:16:49
0次

金融界2025年8月18日消息，国家知识产权局信息显示，华中科技大学;上海精测半导体技术有限公司申请一项名为“一种X射线关键尺寸系统标定方法”的专利，公开号CN120489021A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明属于半导体计量领域，公开了一种X射线关键尺寸系统标定方法，首先移动高通量的小角X射线散射仪器设备的一组相向移动的狭缝刃边，记录通量变化，标定该组狭缝刃边初始位置的相对距离；设定狭缝开口，标定狭缝中心与光束中心的位置；接着调整样品掠入射角，至镜面反射光的强度峰与临界角的Yoneda峰重合，记录此刻入射角为临界角；记录入射光束直接照射到探测器上的光斑，比较改变不同俯仰角的散射光斑，与直射光斑位于相同水平面上的光斑对应的俯仰角度标定为俯仰角零位；最后观察探测器光斑，形成完整半圆时标定为方位角零位，不同方位角值通过建模拟合得到，满足复杂IC纳米结构三维形貌的快速、非破坏性、精确测量原位标定需求。

来源：金融界

射线 方法 需求 光斑 破坏性 精确测量 上海 原位 形貌 导体 俯仰角 华中科技大学 临界角 X射线

上一篇：“女子带娃回娘家一家三口被害”案当庭宣判：死刑

下一篇：华生科技：电容薄膜主要应用于薄膜电容器行业

相关内容

阳光电源新提交“未公开”商...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示，近日阳光电源股份有限公司新...
2026-07-19 13:04:40
电热毯哪家多国电压适配？
多国电压适配电热毯怎么选？行业痛点下的成熟解决方案 近年来，随着跨...
2026-07-19 13:03:45
每周股票复盘：精智达（68...
截至2026年7月17日收盘，精智达（688627）报收于511....
2026-07-19 13:01:45
002129，拟投建近12...
TCL中环（002129）拟投超百亿元建集成电路用半导体大硅片项目...
2026-07-19 13:00:53
谷歌Pixel 11a手机...
IT之家 7 月 18 日消息，科技媒体 NotebookChec...
2026-07-19 12:59:26
阿里平头哥开源真武AI芯片...
IT之家 7 月 18 日消息，阿里平头哥半导体官方宣布，平头哥自...
2026-07-19 12:58:56
美国国会议员呼吁特朗普政府...
【美国众议院“中国委员会”主席约翰•穆勒纳尔和众议员乔治•怀特塞兹...
2026-07-19 12:58:16
直击WAIC｜平头哥开源真...
新京报贝壳财经讯（记者罗亦丹）7月18日，在2026世界人工智能大...
2026-07-19 12:57:54
昨夜，道指重挫超400点，...
当地时间7月17日，美国三大股指全线收跌，道指跌0.77%，跌超4...
2026-07-19 12:56:16

热门资讯

电热毯哪家多国电压适配？ 多国电压适配电热毯怎么选？行业痛点下的成熟解决方案 近年来，随着跨境出行热度攀升、外贸出口持续增长，...
谷歌Pixel 11a手机曝光... IT之家 7 月 18 日消息，科技媒体 NotebookCheck 今天（7 月 18 日）发布博...
阿里平头哥开源真武AI芯片T-... IT之家 7 月 18 日消息，阿里平头哥半导体官方宣布，平头哥自研 AI 软件栈 T-Head S...
美国国会议员呼吁特朗普政府禁止... 【美国众议院“中国委员会”主席约翰•穆勒纳尔和众议员乔治•怀特塞兹呼吁特朗普政府禁止美国公司从中国长...
昨夜，道指重挫超400点，芯片... 当地时间7月17日，美国三大股指全线收跌，道指跌0.77%，跌超400点；标普500指数跌1.01%...
成都瑞波光电有限公司成立 注册... 天眼查App显示，近日，成都瑞波光电有限公司成立，法定代表人为刘翊，注册资本600万人民币，经营范围...
每周股票复盘：利通电子（603... 截至2026年7月17日收盘，利通电子（603629）报收于90.79元，较上周的116.6元下跌2...
新雷能获得实用新型专利授权：“... 证券之星消息，根据天眼查APP数据显示新雷能（300593）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一...
广汽集团获得实用新型专利授权：... 证券之星消息，根据天眼查APP数据显示广汽集团（601238）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
长安汽车获得实用新型专利授权：... 证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长安汽车（000625）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...