截至2025年11月6日 14:46，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨3.32%，成分股艾森股份上涨10.43%，京仪装备上涨5.88%，芯源微上涨5.48%，拓荆科技，耐科装备等个股跟涨。科创半导体ETF(588170)上涨3.26%，最新价报1.46元。

流动性方面，科创半导体ETF(588170)盘中换手11.53%，成交4.67亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至11月5日，科创半导体ETF(588170)近1月日均成交6.09亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体ETF(588170)近1周规模增长4190.05万元，实现显著增长。

消息面上，根据半导体产业协会(SIA)数据，第三季度整体销售额达2084亿美元，较前一季度增长15.8%，9月环比更录得7%的持续动能。协会指出，逻辑和存储芯片表现尤为突出，需求增长主要集中在亚太地区与美洲市场。

德邦证券指出，从全球来看，本轮AI带动的半导体扩产仍在持续，随着海外关键设备的进一步到位，国内先进制程扩产有望加速。从国内来看，Q3国产半导体设备厂商营收大幅增长，这不仅反映设备公司去年订单情况良好，也反映今年下游晶圆厂进展顺利，订单兑现度强。同时设备公司研发费用依旧保持高速增长，研发费用率在营收大幅增长的情况下没有出现下滑，国产半导体设备公司研发投入意愿强，国内半导体产业链有望加速发展。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF(588170)及其联接基金(A类：024417；C类：024418)跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备(61%)和半导体材料(23%)细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF(562590)及其联接基金(A类：020356、C类：020357)，指数中半导体设备(61%)、半导体材料(21%)占比靠前，充分聚焦半导体上游。