6月27日，青岛思锐智能半导体先进装备研发制造中心落成投产活动在青岛自贸片区举行。作为2024年度和2025年度连续两个年度的山东省重大项目及青岛市重点项目，思锐智能半导体先进装备研发制造中心由思锐智能与青岛城投集团联合打造。项目总占地约95亩，总建筑面积达8.6万平方米，计划投资超12亿元，聚焦原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP）两大核心半导体前道设备的研发与量产。该中心的投产填补了青岛市在半导体核心装备领域的空白，标志着青岛在半导体产业自主创新和高端装备制造领域迈出重要一步。

青岛自贸片区管委副主任隋斌表示，思锐智能是目前国内唯一一家同时提供离子注入机和原子层沉积设备并实现关键技术自主突破的高科技企业。项目从建设到投产仅用一年时间，展现了龙头企业的责任与担当，进一步完善了青岛市集成电路产业链布局，对产业升级具有重要的示范引领作用。希望思锐智能以此为契机，深化科技创新与人才培育，为青岛半导体产业发展注入新动能。

青岛思锐智能科技股份有限公司董事长聂翔表示，思锐智能半导体先进装备研发制造中心不仅是一座年产百台设备的生产基地，更是构建"技术-制造-生态"闭环的关键节点。公司将依托该中心加速突破ALD、IMP等关键技术瓶颈，深化在集成电路、功率化合物等领域的布局。同时，思锐智能将持续加大研发投入，深化与政府、高校及海外机构的合作，打造全球领先的研发验证平台和人才聚集区，助力中国半导体产业链自主可控。

据悉，青岛思锐智能科技股份有限公司由中国中车集团及旗下基金通过深度“产融结合”的方式联合发起设立，注册资本11亿元。主要聚焦关键半导体前道工艺设备的研发、生产和销售，解决集成电路装备“卡脖子”问题，提供具有自主可控的核心关键技术的系统装备产品和技术服务方案。主要业务包括原子层沉积（ALD）设备及离子注入（IMP）设备，广泛应用于集成电路、以功率与化合物为代表的第三代半导体、新能源、光学、生物医学等诸多高精尖领域。

2018年9月，思锐智能完成对ALD技术发源地—芬兰倍耐克公司100%股权的收购工作。思锐智能及子公司BENEQ在全球拥有近480余项专利，在ALD和IMP技术及应用方面具备雄厚的技术积累，是中国国内极少拥有全球客户拓展能力的中高端半导体装备生产制造商，业务范围覆盖全球40个国家及地区，累计超过500个全球客户。

思锐智能项目的落地进一步增强了青岛自贸片区在半导体高端装备领域的竞争力，为青岛打造“中国芯谷”注入新动能。未来，青岛自贸片区将持续优化营商环境，支持企业创新发展，推动集成电路产业实现更高质量、更高水平的发展。

（半岛全媒体首席记者 李晓哲）