北方华创申请半导体工艺设备控制系统专利，提升了基片生产效率
创始人
2025-12-31 20:07:52
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种半导体工艺设备的控制系统”的专利，公开号CN121232715A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明提供了一种半导体工艺设备的控制系统，该系统包括：主控制器以及与主控制器电连接的方阻检测模块；主控制器用于在基片加工完成后，控制机械手将加工后的基片插入方阻检测模块；方阻检测模块用于检测加工后的基片的方阻值，判断方阻值是否合格，并在方阻值不合格时将方阻值发送至主控制器；主控制器还用于在方阻值不合格时，基于方阻值调整工艺腔室的工艺参数。本发明降低了硬件成本，可以避免对基片表面造成物理损伤，保证了基片的完整性及基片方阻的合格率，同时可以缩短方阻检测时间，提升了基片生产效率。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1335次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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