北方华创申请半导体工艺设备控制系统专利，提升了基片生产效率
创始人
2025-12-31 20:07:52
0次
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种半导体工艺设备的控制系统”的专利，公开号CN121232715A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明提供了一种半导体工艺设备的控制系统，该系统包括：主控制器以及与主控制器电连接的方阻检测模块；主控制器用于在基片加工完成后，控制机械手将加工后的基片插入方阻检测模块；方阻检测模块用于检测加工后的基片的方阻值，判断方阻值是否合格，并在方阻值不合格时将方阻值发送至主控制器；主控制器还用于在方阻值不合格时，基于方阻值调整工艺腔室的工艺参数。本发明降低了硬件成本，可以避免对基片表面造成物理损伤，保证了基片的完整性及基片方阻的合格率，同时可以缩短方阻检测时间，提升了基片生产效率。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1335次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
江西芯能电子有限公司成立 注册...
天眼查App显示，近日，江西芯能电子有限公司成立，法定代表人为孙晓晓，注册资本100万人民币，经营范...
富士康（鸿海集团）是公司消费电...
有投资者向 和胜股份（002824.SZ）提问，富士康（鸿海集团）是公司消费电子板块核心客户？ 7月...
星网锐捷新注册《星网锐捷vSu...
证券之星消息，近日星网锐捷（002396）新注册了《星网锐捷vSureOS嵌入式操作系统V1.0》项...
中国电力科学研究院申请构网型变...
国家知识产权局信息显示，中国电力科学研究院有限公司申请一项名为“构网型变流器控制的方法及装置”的专利...
瞻芯电子申请图腾柱功率因数校正...
国家知识产权局信息显示，上海瞻芯电子科技股份有限公司申请一项名为“图腾柱功率因数校正电路及其电流检测...
国网河南申请多低压配电网光伏与...
国家知识产权局信息显示，国网河南省电力公司经济技术研究院;东北电力大学申请一项名为“多低压配电网光伏...
亚浩电子取得宽幅电压输入自动切...
国家知识产权局信息显示，亚浩电子五金塑胶（惠州）有限公司取得一项名为“一种宽幅电压输入自动切换电路”...
半导体设备强势突围，半导体设备...
7月22日，A股市场表现分化，上证指数收涨0.07%，而深证成指与创业板指分别收跌1.42%和3.2...
费城半导体指数涨幅达1%
每经AI快讯，7月22日，费城半导体指数涨幅扩大至1%，高通、迈威尔科技、英伟达涨超2%，AMD涨近...