应用材料以色列申请带电粒子系统中覆盖靶材测量和位移补偿专利，补偿不同类型传感器的响应时间差异
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2026-01-08 13:37:05
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国家知识产权局信息显示，应用材料以色列公司申请一项名为“带电粒子系统中的覆盖靶材测量和位移补偿以及相关方法”的专利，公开号CN121282073A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，一种补偿带电粒子系统的不同类型传感器的响应时间差异的方法和系统。这涉及获取覆盖靶材的第一和第二次级电子图像以及反向散射电子图像，这些图像是根据第一和第二扫描图案用照射电子束进行扫描的。基于第一图像和旋转的第二图像之间的配准，确定次级电子位移和反向散射电子位移。基于这些位移确定补偿位移。这些图像是使用低于用于生成第一反向散射电子图像的反向散射电子传感器的响应周期的像素抓取周期获取的。
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