国家知识产权局信息显示,浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司取得一项名为“一种晶圆调度转运机械手装置”的专利,授权公告号CN223849278U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆调度转运机械手装置,属于半导体制造技术领域。晶圆调度转运机械手装置,包括夹片机构,夹片机构包括底板、驱动件和至少两个间隔的第一旋转托盘,第一旋转托盘包括第一转动杆和连接于第一转动杆的第一托底,第一转动杆转动连接于底板,驱动件能够同时驱动至少两个第一转动杆转动,以使第一晶圆能够穿过至少两个第一转动杆之间,或至少两个第一托底同时托载第一晶圆。本实用新型的晶圆调度转运机械手装置,能够适应晶圆尺寸变化,具有对控制精度要求低、故障率低的优点,且不易造成晶圆污染。
天眼查资料显示,浙江求是半导体设备有限公司,成立于2018年,位于杭州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江求是半导体设备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目26次,专利信息334条,此外企业还拥有行政许可10个。
浙江晶盛机电股份有限公司,成立于2006年,位于绍兴市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本130953.3797万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了35家企业,参与招投标项目216次,财产线索方面有商标信息71条,专利信息1148条,此外企业还拥有行政许可40个。
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来源:市场资讯