通快霍廷格申请用于连接等离子体处理控制系统的变换系统专利，可将用于阻抗匹配电路B的控制数据变换为用于阻抗匹配电路A的控制数据
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2026-02-03 00:11:58
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国家知识产权局信息显示，通快霍廷格两合公司申请一项名为“用于将等离子体处理控制系统连接至阻抗匹配电路的变换系统、具有这种变换系统的等离子体生成系统以及用于生成变换表和/或变换函数的方法”的专利，公开号CN121444200A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，变换系统（10）用于将等离子体处理控制系统（2）连接至阻抗匹配电路A（9），其中，阻抗匹配电路A（9）可连接至RF发生器（3）和等离子体室（5）。设置有第一变换装置（10a）和通信装置（14），其中，通信装置（14）可连接至等离子体处理控制系统（2）。通信装置（14）被设计成接收来自等离子体处理控制系统（2）的用于阻抗匹配电路B（4）的控制数据B。第一变换装置（10a）被设计成将用于阻抗匹配电路B（4）的控制数据B变换为用于阻抗匹配电路A（9）的控制数据A。变换系统（10）被设计成提供控制数据A以用于控制阻抗匹配电路A（9）。另外地或替选地，也可以接收来自阻抗匹配电路A（9）的信息数据A，并且将信息数据A变换为阻抗匹配电路B（4）的信息数据B，并且将信息数据B传输至等离子体处理控制系统（2）。
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