芯恩取得半导体工艺设备专利，利于提高机械手臂的取片成功率
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2025-07-04 20:09:57
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金融界2025年7月4日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN223066151U，申请日期为2024年07月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种半导体工艺设备。其中，所述半导体工艺设备采用具有曲面的支撑凸起来承载晶圆。相较于平面式的支撑结构，曲面支撑能够在晶圆震动情况下限制所述晶圆的位移量，并确保所述晶圆在停止震动时，其边缘可以经所述曲面自动滑落至目标承载位置，有效避免所述晶圆因震动而偏离承载位置的情况，实现对晶圆承载位置的限定，利于提高机械手臂的取片成功率，进而减少工艺成本的浪费。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目174次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息713条，此外企业还拥有行政许可55个。
来源：金融界
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