广州增芯申请压力与红外热电堆传感器制备方法专利，以较高的集成密度实现了温度测量功能和压力测量功能_电池问答

广州增芯申请压力与红外热电堆传感器制备方法专利，以较高的集成密度实现了温度测量功能和压力测量功能

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2026-02-11 18:40:30

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国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司申请一项名为“一种压力与红外热电堆传感器的制备方法及其传感器”的专利，公开号CN121510852A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明提供了一种压力与红外热电堆传感器的制备方法及其传感器，通过在SOI衬底的顶硅层的第二区内形成压敏电阻结构；在顶硅层的表面形成第一保护层；在压敏电阻结构的部分表面形成顶部延伸至第二区的外部区域第一电连接结构；在第一保护层的表面沉积第二保护层，在部分第一区上以及所述第二区上的第二保护层上形成包括至少两层且上下间隔的多晶硅层的多晶硅结构；在第二区外围的第一电连接结构的部分表面形成第二电连接结构；以及在形成第二电连接结构的同时，形成与串联多晶硅结构中多晶硅层的第三电连接结构；在SOI衬底背面形成贯穿底硅层的空腔。从而以较高的集成密度实现了温度测量功能和压力测量功能。

天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本727500万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目52次，财产线索方面有商标信息53条，专利信息216条，此外企业还拥有行政许可180个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资功能广州热电测量区上压力红外专利保护层硅层热电堆传感器顶硅层结构

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