瞻芯电子取得光刻版清洁治具专利，可带动光刻版往复经过除尘组件
创始人
2026-02-13 23:38:37
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国家知识产权局信息显示，浙江瞻芯电子科技有限公司取得一项名为“一种光刻版清洁治具”的专利，授权公告号CN223902526U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本申请涉及一种光刻版清洁治具，其特征在于，包括底座、设置于所述底座上的放置台、除尘组件、吸取组件、显尘组件；其中所述放置台位于所述底座的一端，顶部具有放置空间，收容有所述光刻版的版盒以水平姿态放于所述放置空间内；所述吸取组件包括自所述底座的另一端沿所述底座的长度方向延伸的移动导轨、以及设置于所述移动导轨上、朝向所述放置台伸出的取版手臂；所述除尘组件在所述底座的长度方向上位于所述底座的中部；并且所述取版手臂可沿所述移动导轨自所述底座的另一端移动伸入所述放置空间内、吸取所述版盒内的所述光刻版并带动所述光刻版往复经过所述除尘组件。
天眼查资料显示，浙江瞻芯电子科技有限公司，成立于2020年，位于金华市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本62000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江瞻芯电子科技有限公司参与招投标项目47次，专利信息14条，此外企业还拥有行政许可9个。
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来源：市场资讯
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