江苏先科半导体申请用于ALD工艺的固态前驱体输送系统专利，实现固态前驱体源的稳定升华_电池问答

江苏先科半导体申请用于ALD工艺的固态前驱体输送系统专利，实现固态前驱体源的稳定升华

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2026-02-16 17:43:47

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国家知识产权局信息显示，江苏先科半导体新材料有限公司申请一项名为“一种用于ALD工艺的固态前驱体输送系统”的专利，公开号CN121519031A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于ALD工艺的固态前驱体输送系统，涉及半导体技术领域。本发明包括固态前驱体源瓶、蒸气输送管路、气动阀门和反应室，还包括加热组件，加热组件包括进气口加热器、源瓶加热器、出气口的出气口加热器、蒸气输送管路加热器、气动阀门的阀门加热器和喷淋头的反应室顶部加热器，且进气口加热器、源瓶加热器、出气口加热器、蒸气输送管路加热器、阀门加热器和反应室加热器的加热温度逐级升高。通过逐级升温的方法，采用前期较低的加热温度，为ALD工艺提供稳定均匀的固态前驱体蒸气输入，有效解决了固态前驱体蒸气压低的问题，提高了输运速率，实现均匀饱和吸附，还实现了固态前驱体源的稳定升华，提高了系统的稳定性和可靠性。

天眼查资料显示，江苏先科半导体新材料有限公司，成立于2016年，位于无锡市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本102693.1686万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏先科半导体新材料有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目28次，专利信息52条，此外企业还拥有行政许可422个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资半导体系统蒸气固态前驱工艺专利加热器驱体源瓶

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