盛美半导体申请传感器校准装置及基板清洗机专利,以提高传感器安装精度及校准精度
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2026-02-17 23:13:01
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国家知识产权局信息显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“一种传感器校准装置及基板清洗机”的专利,公开号CN121540106A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本申请提供一种传感器校准装置及基板清洗机,传感器校准装置包括支撑杆、固定杆、传感器和调整组件。支撑杆包括固定端、安装端、以及由安装端端面向固定端直线延伸的安装通道,固定杆插入安装通道并被限制仅沿安装通道延伸方向直线滑动。传感器安装在固定杆伸出安装通道一端。调整组件包括内、外旋件,内旋件外周设置外螺纹,外旋件设有内螺纹孔,外旋件的内螺纹孔与内旋件的外螺纹配合。调整组件被配置为:内旋件套设并固定于固定杆上,外旋件搭设在支撑杆的安装端端面上,通过旋转外旋件及在内旋件及外旋件的旋转进给配合下,使传感器移动至期望高度。本申请方案能通过旋转进给的方式调整传感器高度,以提高传感器安装精度及校准精度。

天眼查资料显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司,成立于2005年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本48016.4789万人民币。通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目172次,财产线索方面有商标信息28条,专利信息671条,此外企业还拥有行政许可31个。

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来源:市场资讯

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