国家知识产权局信息显示,厦门钧摩芯半导体有限公司取得一项名为“一种半导体制程废气电热处理装置”的专利,授权公告号CN223939453U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种半导体制程废气电热处理装置,包括外筒、内筒和中筒,内筒的内侧具有第一通道,中筒与内筒之间的间隙构成第二通道,外筒与中筒之间的间隙构成第三通道,第一通道、第二通道和第三通道构成首尾相连的迂回气流路径;第一通道内设有若干加热板,用于对途径第一通道的气体进行加热处理,所述第二通道内设有若干沿气流路径间隔分布的分流板,分流板上设有若干分流通孔。本实用新型有利于解决因未在燃烧室之前配置预热装置,往往会因为燃烧室前侧输入的相对低温气体导致燃烧室内温度波动,这不仅影响燃烧室内气体的稳定持续燃烧状态,也容易出现少量废气成分受温差波动的影响难以燃烧充分,出现逃逸现象的问题。
天眼查资料显示,厦门钧摩芯半导体有限公司,成立于2021年,位于厦门市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,厦门钧摩芯半导体有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息1条,专利信息20条,此外企业还拥有行政许可6个。
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来源:市场资讯