阿尔法半导体申请碳化硅晶棒切割方法专利，有效降低晶片翘曲度、弯曲度
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2026-03-10 19:15:56
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国家知识产权局信息显示，宁波阿尔法半导体有限公司申请一项名为“一种碳化硅晶棒的切割方法”的专利，公开号CN121624971A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本申请公开了一种碳化硅晶棒的切割方法，包括：提供待切割晶棒，晶棒具有一沿轴向延伸的圆弧形外周面；确定晶棒在切割方向上的入刀顶点，并在入刀顶点处粘接牺牲组件，牺牲组件覆盖入刀顶点并沿晶棒的轴向延伸，粘接剂形成刚性粘接胶层，控制切割线网沿垂直于晶棒轴向的方向进给，使切割线网先切入牺牲组件，再切入晶棒内部，牺牲组件的材质与晶棒的材质相同，或者牺牲组件的维氏硬度与晶棒的维氏硬度偏差绝对值小于预设阈值，以使切割线网从牺牲组件切入晶棒时保持切削应力的连续性，避免切割线轴向窜动导致的入刀线痕，减少晶片在入刀位置的形变量，有效降低晶片翘曲度、弯曲度，降低额外返修的概率，以解决线痕导致的晶片直接报废问题。
天眼查资料显示，宁波阿尔法半导体有限公司，成立于2018年，位于宁波市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本31872.5万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波阿尔法半导体有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目15次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息72条，此外企业还拥有行政许可10个。
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来源：市场资讯
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