上海集成电路材料研究院申请混合滤波器的制作方法专利，能够减小器件尺寸_电池问答

上海集成电路材料研究院申请混合滤波器的制作方法专利，能够减小器件尺寸

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2026-03-17 17:17:01

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国家知识产权局信息显示，上海集成电路材料研究院有限公司申请一项名为“一种混合滤波器的制作方法”的专利，公开号CN121664127A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种混合滤波器的制作方法，包括：提供第一衬底，于第一衬底上形成压电层；于压电层上形成第一电极和键合层；于键合层中形成刻蚀槽和连接导电柱，刻蚀槽显露预设位置的第一电极，连接导电柱贯穿键合层与压电层和/或第一电极连接；提供第二衬底，第二衬底中设置有被动元件和引出导电柱，引出导电柱和被动元件电连接，将键合层和第二衬底键合，其中，引出导电柱和连接导电柱电连接；去除第一衬底，于压电层远离第二衬底的一侧形成第二电极。本发明的混合滤波器的制作方法中，第二衬底内部设置有被动元件，将键合层和第二衬底键合的过程中进行实现被动元件的集成连接，工艺简单，且能够减小器件尺寸，降低成本。

天眼查资料显示，上海集成电路材料研究院有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本56640.1026万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集成电路材料研究院有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目70次，财产线索方面有商标信息33条，专利信息74条，此外企业还拥有行政许可4个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业导电电极投资上海器件滤波器混合集成电路专利混合滤波器键合层衬底导电柱

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