兴福电子申请选择性氮化钛蚀刻液专利，蚀刻后表面粗糙度较低
创始人
2026-03-28 19:36:47
0次
国家知识产权局信息显示，湖北兴福电子材料股份有限公司申请一项名为“一种选择性氮化钛蚀刻液”的专利，公开号CN121736756A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种选择性氮化钛蚀刻液，化剂、络合剂、无机碱、金属蚀刻抑制剂、硅蚀刻抑制剂、醇类和去离子水构成氮化钛蚀刻液。在对氮化钛蚀刻的过程中，能够保持快速稳定的蚀刻速率，对铜钨的选择比较高，且对硅基本没有损伤，蚀刻后表面粗糙度较低，有较高的寿命。该蚀刻液能通过氧化剂和碱蚀刻氮化钛膜层，络合剂能络合溶液中的金属离子，在提高蚀刻速率的同时能增加溶液的寿命，醇类能够铺展在表面达到降低蚀刻后表面粗糙度的目的，同时配有蚀刻抑制剂能抑制铜、钨和硅等的腐蚀。本发明的蚀刻液能稳定快速的蚀刻氮化钛，对钨、铜、硅有较高的选择比，有较长的寿命且蚀刻后表面粗糙度较低。
天眼查资料显示，湖北兴福电子材料股份有限公司，成立于2008年，位于宜昌市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北兴福电子材料股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目213次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息496条，此外企业还拥有行政许可287个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
新雷能获得实用新型专利授权：“...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示新雷能（300593）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一...
广汽集团获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示广汽集团（601238）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
长安汽车获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长安汽车（000625）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
聚飞光电获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示聚飞光电（300303）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
龙腾光电获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙腾光电（688055）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
世昌股份获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示世昌股份（920022）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
信音电子获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示信音电子（301329）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
格力电器获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示格力电器（000651）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
阳光电源：近期碳酸锂价格回落后...
人民财讯7月15日电，阳光电源今日接受机构调研时表示，储能业务会受碳酸锂价格波动的影响。之前碳酸锂价...
*ST特迅：电源产品已在多个数...
证券之星消息，*ST特迅(002227)07月16日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者...