森丸电子申请基于RDL布线的深沟槽电容结构制备方法专利,在保持高电容密度优势的同时降低等效串联电感
创始人
2026-04-01 21:46:56
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国家知识产权局信息显示,苏州森丸电子技术有限公司申请一项名为“一种基于RDL布线的深沟槽电容结构的制备方法”的专利,公开号CN121772232A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种基于RDL布线的深沟槽电容结构的制备方法,包括如下步骤:S1、提供深沟槽电容结构,深沟槽电容结构包含至少两个不同电位的导电层,且导电层的上表面被第一层间介质层覆盖;S2、图形化第一层间介质层,以形成暴露出不同导电层的过孔;S3、在第一层间介质层上制备第一再分布层,第一再分布层包含两个彼此电隔离的电极层,该两个电极层分别连接至不同电位的导电层,该至少两个电极层的图形在平面上以叉指状或螺旋状交替排布,从而形成一个并联于所述深沟槽电容的平面电容结构。本发明在MIM电容基础上并联一个叉指电容,形成一个复合电容结构,在保持DTC高电容密度优势的同时降低等效串联电感,拓展了电容的工作带宽。

天眼查资料显示,苏州森丸电子技术有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1432.5352万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州森丸电子技术有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目9次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息40条,此外企业还拥有行政许可7个。

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来源:市场资讯

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