新凯来申请反射板及半导体设备专利，实现对晶圆温度的精确闭环控制
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2026-04-08 15:10:20
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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“反射板及半导体设备”的专利，公开号CN121815460A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请提供一种反射板及半导体设备，该反射板设置在半导体设备的工艺腔室中，反射板的反射层包括内圈部以及与内圈部连接的外圈部，外圈部的和内圈部的采用不同的反射率，内圈部设置有多个测温通孔，测温通孔用于安装测温传感器。通过设计内圈部和外圈部不同的反射区域，并使反射板的内圈和外圈具有不同的反射率，以对工艺腔室内不同区域或者不同材料的辐射光谱进行反射或吸收，从而精准控制不同图案的晶圆所需热预算，使半导体设备实现晶圆的快速升温及快速冷却；同时，通过外圈部吸收来自晶圆主投影区域外围的辐射光谱进而减少对测温传感器的感光器件的噪声干扰，实现对晶圆温度的精确闭环控制。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息247条，此外企业还拥有行政许可14个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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