麦斯克电子取得8英寸硅片酸洗装置专利,保证硅片的清洁
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2026-05-16 17:38:15
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国家知识产权局信息显示,麦斯克电子材料股份有限公司取得一项名为“一种8英寸硅片酸洗装置”的专利,授权公告号CN224237730U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,一种8英寸硅片酸洗装置,包括酸洗池和固定设置在酸洗池内部的超声波发生器,所述酸洗池中固定设置有多个能够支撑硅片盒的安装盒,且安装盒的顶部开设有与硅片盒对应的上导流孔,安装盒的侧部开设有侧导流孔,安装盒的底部设置有第一电机,第一电机驱动连接有第一叶轮,第一叶轮用于将酸洗池中的液体通过上导流孔引入到安装盒内,并且通过侧导流孔输出。本实用新型提供一种8英寸硅片酸洗装置,能够使酸洗池中的液体循环流动,进而将硅片表面清洗下来的杂质分散到酸洗池中,避免杂质聚集在两个硅片之间的狭小缝隙中,进而避免在清洗完毕取出硅片盒的过程中,这些杂质重新粘附到硅片上,保证硅片的清洁。

天眼查资料显示,麦斯克电子材料股份有限公司,成立于1995年,位于洛阳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本18505.6088万人民币。通过天眼查大数据分析,麦斯克电子材料股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目536次,财产线索方面有商标信息13条,专利信息355条,此外企业还拥有行政许可113个。

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来源:市场资讯

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