邑文微电子申请静电吸盘解吸附装置专利，能够快速、可控、安全地泄放静电吸盘残留电荷
国家知识产权局信息显示，无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请一项名为“一种静电吸盘的解吸附装置及方法、电子设备和存储介质”的专利，公开号CN122069987A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明公开了一种静电吸盘的解吸附装置及方法、电子设备和存储介质。静电吸盘的解吸附装置包括：控制器和辅助放电模块；辅助放电模块包括：依次连接的受控开关、隔直电容和可调阻尼电阻网络；受控开关与控制器以及静电吸盘连接，受控开关响应于控制器发送的驱动控制信号，在解吸附阶段接通或切断辅助泄放通路；隔直电容用于在工艺阶段阻断射频能量进入辅助泄放通路；可调阻尼电阻网络与射频匹配器的接地参考点连接，可调阻尼电阻网络用于控制隔直电容的放电速度，避免振荡；控制器用于在解吸附阶段控制受控开关导通或断开，并根据反馈信号优化放电参数，发送驱动控制信号并传输至受控开关。本发明能够快速、可控、安全地泄放静电吸盘残留电荷。
天眼查资料显示，无锡邑文微电子科技股份有限公司，成立于2011年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡邑文微电子科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目162次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息383条，此外企业还拥有行政许可42个。
江苏邑文微电子科技有限公司，成立于2018年，位于南通市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3333.33万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏邑文微电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息233条，此外企业还拥有行政许可7个。
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来源：市场资讯