准芯半导体取得晶圆清洗干燥装置专利，充分提升干燥处理效果
创始人
2026-07-05 01:58:01
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国家知识产权局信息显示，准芯半导体科技（内蒙古）有限公司取得一项名为“一种晶圆清洗过程中的干燥装置”的专利，授权公告号CN224460480U，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本实用新型涉及晶圆清洗干燥技术领域，且公开了一种晶圆清洗过程中的干燥装置，包括机械臂本体、设置在机械臂本体一侧的清洗箱，所述清洗箱一侧顶部和底部分别设置有两个第二连接阀管和两个第一连接阀管，所述机械臂本体的输出末端传动连接有调节平台。本实用新型通过设置两个夹持部件，在调节平台的支撑下，能够对与晶圆花篮及其前后端设置的限位杆进行套装夹持的同时，实现防脱效果，后续在机械臂本体的驱动下进行转移时，晶圆花篮以及晶圆花篮内部承载的多个晶圆能够在清洗箱内部进行清洗和多阶段移动干燥，充分提升干燥处理效果之外，还能够解决现有技术中出现的晶圆再调节问题，保证晶圆在清洗、干燥一体化处理过程中的安全性。
天眼查资料显示，准芯半导体科技（内蒙古）有限公司，成立于2024年，位于鄂尔多斯市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100000万人民币。通过天眼查大数据分析，准芯半导体科技（内蒙古）有限公司专利信息3条，此外企业还拥有行政许可7个。
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来源：市场资讯
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