北方华创申请下电极装置及半导体工艺设备专利，实现特定装置部件连接及功能配合
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2025-07-09 12:39:22
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金融界 2025 年 7 月 9 日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“下电极装置及半导体工艺设备”的专利，公开号 CN120280326A，申请日期为 2025 年 05 月 。

专利摘要显示，本发明提供一种下电极装置及半导体工艺设备，该装置包括：卡盘组件，用于承载晶圆；射频馈入部件，设置于卡盘组件底部的中心位置，且设置有中空空间和至少三个开口，至少三个开口沿射频馈入部件的周向均匀分布，每个开口自射频馈入部件的外周面贯通至构成中空空间的内周面；升降驱动部件，设置于中空空间中，且与射频馈入部件等电位设置；以及至少三个连接部件，均与升降驱动部件的驱动部连接，用于在升降驱动部件的驱动下升降；并且，各连接部件一一对应地穿过各开口延伸至中空空间之外，用于分别与半导体工艺设备的各顶针装置连接。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1081次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

来源：金融界

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