格科半导体申请低缺陷单晶薄膜制备方法专利，提高薄膜质量
创始人
2026-08-28 21:32:20
0次
国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种低缺陷的单晶薄膜的制备方法”的专利，公开号CN122649079A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本发明提供了一种低缺陷的单晶薄膜的制备方法，至少包含以下步骤：步骤S1，提供一衬底，将衬底置于反应腔内；反应腔内的压力小于20tor，衬底的工艺温度低于900℃；步骤S2，向反应腔内通入第一沉积气体，在衬底表面形成N型单晶薄膜；第一沉积气体包含原料气体和N型掺杂气体；步骤S3，向反应腔内切换通入第二沉积气体，在N型单晶薄膜表面形成P型单晶薄膜；第二沉积气体包含原料气体和P型掺杂气体；原料气体为硅源前驱体或锗源前驱体。采用本发明的制备方法可以降低单晶薄膜的缺陷，提高薄膜质量。
天眼查资料显示，格科半导体（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本700000万人民币。通过天眼查大数据分析，格科半导体（上海）有限公司参与招投标项目21次，专利信息183条，此外企业还拥有行政许可112个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
信易科技取得LED负载检测反馈...
国家知识产权局信息显示，深圳市信易科技有限公司取得一项名为“一种LED负载检测反馈电路”的专利，授权...
50kVA三相补偿式稳压器厂家...
很多采购在选型50kVA三相补偿式稳压器时，容易被“补偿式”、“碳刷型”、“无触点”这些技术名词绕晕...
ETF市场日报 | 化工ETF...
2026年8月28日，Wind数据显示，A股三大指数今日走势分化，沪指震荡整理，创业板指走势较弱。截...
格科半导体申请低缺陷单晶薄膜制...
国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种低缺陷的单晶薄膜的制备方法”的专...
益阳佰泰莱电子申请PCB化学镍...
国家知识产权局信息显示，益阳佰泰莱电子有限公司申请一项名为“一种PCB化学镍金药液的快速配比添加装置...
东芝U-MOS H系列在AI服...
东芝U-MOS H系列（如TPM1R408RH）通过U-MOS11-H工艺实现了低RDS(on)与优...
小米取得像素电路专利，减少了像...
国家知识产权局信息显示，北京小米移动软件有限公司取得一项名为“像素电路、图像传感器以及拍摄设备”的专...
欣威智能取得电子笔专利，提升电...
国家知识产权局信息显示，深圳市欣威智能有限公司取得一项名为“一种电子笔”的专利，授权公告号CN224...
奥力威取得磁芯注塑定位结构及滤...
国家知识产权局信息显示，江苏奥力威传感高科股份有限公司取得一项名为“一种磁芯注塑定位结构及滤波器”的...
德普尔门控取得微波与激光组合传...
国家知识产权局信息显示，江苏德普尔门控科技有限公司取得一项名为“一种微波与激光组合传感器”的专利，授...