惠然科技申请电子显微镜定位方法专利，实现纳米级的样品台定位控制
创始人
2026-08-29 20:20:23
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国家知识产权局信息显示，惠然科技有限公司申请一项名为“一种电子显微镜及用于电子显微镜的定位方法”的专利，公开号CN122658976A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本申请公开了一种电子显微镜及用于电子显微镜的定位方法，该方法包括：硬件闭环控制模块基于目标位置与实际位置的偏差向运动执行机构输出驱动指令，以带动样品台移动，完成一级闭环定位，使样品台的位置偏差达到预设误差阈值；残余误差计算模块同步获取目标位置、以及一级闭环定位后样品台的实际位置，计算得到残余误差，并将残余误差输出至设于上位机的算法处理单元；算法处理单元调用预先建立的多个模型，根据当前工作距离和残余误差，计算电子束偏移补偿量；上位机基于电子束偏移补偿量向电子束偏转器下发偏转指令，以调整电子束的偏转位置，完成二次补偿定位。本申请的定位方案提升了定位精度，实现纳米级的样品台定位控制。
天眼查资料显示，惠然科技有限公司，成立于2016年，位于无锡市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本17270.695万人民币。通过天眼查大数据分析，惠然科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目15次，财产线索方面有商标信息102条，专利信息72条，此外企业还拥有行政许可5个。
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来源：市场资讯
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