开悦半导体取得防拖链干涉的半导体设备运动系统专利,避免拖链磨损的同时也能够避免摩擦对整机内部洁净度造成的不良影响
创始人
2026-09-08 23:46:20
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国家知识产权局信息显示,合肥开悦半导体科技有限公司取得一项名为“一种防拖链干涉的半导体设备运动系统”的专利,授权公告号CN224732304U,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体加工技术领域,公开了一种防拖链干涉的半导体设备运动系统,包括活动腔和安装架,安装架由拖链驱动在活动腔内定向移动,活动腔内设置第一磁片,拖链的结点上设置第二磁片,第一磁片与第二磁片相互排斥;活动腔内设置位置检测组件,当拖链与活动腔腔壁接触时,位置检测组件将信号发送至控制器。本实用新型,通过第一磁片和第二磁片的设置实现拖链在移动过程中的位置保持,避免拖链磨损的同时也能够避免摩擦对整机内部洁净度造成的不良影响;通过对拖链位置进行监测,实现故障的快速定位和快速预警,大幅缩短排查时间,提高故障排查效率。

天眼查资料显示,合肥开悦半导体科技有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3882.17296万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥开悦半导体科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目31次,财产线索方面有商标信息24条,专利信息99条,此外企业还拥有行政许可10个。

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来源:市场资讯

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