日月新半导体取得半导体晶圆生产用夹持设备专利,实现晶圆稳定吸附
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2026-09-09 16:38:09
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国家知识产权局信息显示,日月新半导体(苏州)有限公司取得一项名为“一种半导体晶圆生产用夹持设备”的专利,授权公告号CN224734142U,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体制造设备技术领域,公开一种半导体晶圆生产用夹持设备,该设备包括底座、旋转组件、推动机构、传动组件及夹持板;底座为中空结构,内置旋转组件,其通过旋转电机驱动主动轮,经传动带带动从动轮及旋转盘转动,实现整体水平旋转;推动机构设于旋转盘上,由推动电机驱动传动杆,配合连杆与旋转杆带动推动杆升降,调节夹持高度;传动组件含传动箱与丝杆,驱动电机带动丝杆转动,使滚珠螺母带动夹持板水平移动;夹持板表面设真空吸孔,实现晶圆稳定吸附;设备通过多组件协同,实现晶圆旋转、升降、平移及无损夹持,结构紧凑、操作精准,适用于半导体晶圆生产场景。

天眼查资料显示,日月新半导体(苏州)有限公司,成立于2001年,位于苏州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本4867.235964万美元。通过天眼查大数据分析,日月新半导体(苏州)有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目46次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息451条,此外企业还拥有行政许可67个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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