杉纳科技申请基于磁致伸缩材料的异质集成传感器及其制备方法专利，解决敏感结构与线圈制作相互干扰问题
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2026-09-13 11:04:13
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国家知识产权局信息显示，杉纳（秦皇岛）科技有限公司申请一项名为“基于磁致伸缩材料的异质集成传感器及其制备方法”的专利，公开号CN122742626A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本申请公开了一种基于磁致伸缩材料的异质集成传感器及其制备方法。其中，基于磁致伸缩材料的异质集成传感器的制备方法包括：在磁致伸缩材料基片上通过刻蚀工艺形成多个磁致伸缩结构，在相邻两个磁致伸缩结构之间通过电镀形成磁通引导结构，制备形成第一芯片层；在支撑衬底上采用多层电镀工艺制备线圈结构，并制作贯穿支撑衬底的导电部，制备形成第二芯片层，且导电部避让线圈结构；将第一芯片层和第二芯片层对准键合，形成键合界面。本申请至少可以解决现有技术中的磁致伸缩传感器制备工艺中敏感结构与线圈制作相互干扰且难以集成高性能三维线圈的问题。
天眼查资料显示，杉纳（秦皇岛）科技有限公司，成立于2023年，位于秦皇岛市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，杉纳（秦皇岛）科技有限公司共对外投资了1家企业，专利信息7条，此外企业还拥有行政许可1个。
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来源：市场资讯
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